紫外激光器关键技术取得重要进展

　　深紫外激光由于波长短、光子能量高，因而在高分辨率成像、光谱应用、微细加工等诸多领域具有重要的应用价值，获得实用化、精密化的深紫外光源一直是科学家们不断追求的目标。我国在深紫外晶体材料和激光技术领域具有国际领先优势，但随着应用的发展，急需更高性能的深紫外全固态激光源（DUV-DPL），如更高功率、更窄线宽。

　　“深紫外激光器及人工晶体关键技术”课题在国际上首次实现高功率、窄线宽177.3nm深紫外激光输出，解决了大尺寸KBBF 族深紫外晶体生长、优质KBBF-PCT器件研制、高效深紫外倍频技术、窄线宽深紫外激光产生技术等关键问题，KBBF晶体厚度突破4mm，首次获得了大功率（146.5 mW）、窄线宽（0.88 pm）的177.3 nm深紫外激光输出。该课题完善、巩固了我国拥有的深紫外自主知识产权体系，填补了直接倍频产生高功率、窄线宽深紫外激光的空白，扩展了深紫外激光可实用化、精密化应用。

　　“紫外激光器产业化关键技术及应用”课题组解决了厘米级BBSAG晶体生长、非线性晶体超光滑表面加工、工业级应用的全固态激光器整机装配等工艺难点，突破了高光束质量紫外频率变换、非线性光学晶体的寿命及抗损伤、光束指向稳定性等多项关键技术，开发出10-30W不同功率级别的全固态紫外激光器和新型的BBSAG四倍频器件，产品性能达到国外同类产品水平，形成了一套拥有自主知识产权的全固态紫外激光核心技术，并实现了紫外激光器在微加工成套设备上的试用。